ALIGNX7 / ALIGNX14
가격문의(상세정보 참조)
- 웨이퍼 얼라이먼트 센서
- Wafer Alignment sensor
- 최대 분해능 : 7(14)μm
- 측정 범위 : 28mm
- 인터페이스 : Parallel binary(TTL)
- 웨이퍼 얼라이먼트 센서
- Wafer Alignment sensor
- 최대 분해능 : 7(14)μm
- 측정 범위 : 28mm
- 인터페이스 : Parallel binary(TTL)